Ciljana vrijednost relativne vlažnosti u poluvodičkoj (FAB) čistoj prostoriji

Ciljana vrijednost relativne vlažnosti u čistoj prostoriji poluprovodnika (FAB) je otprilike 30 do 50%, što dozvoljava usku granicu greške od ±1%, kao što je u zoni litografije – ili čak i manje u obradi dalekog ultraljubičastog zračenja (DUV) zona – dok se drugdje može opustiti na ±5%.
Budući da relativna vlažnost ima niz faktora koji mogu smanjiti ukupni učinak čistih prostorija, uključujući:
1. Rast bakterija;
2. Raspon udobnosti sobne temperature za osoblje;
3. Pojavljuje se elektrostatički naboj;
4. Korozija metala;
5. Kondenzacija vodene pare;
6. Degradacija litografije;
7. Upijanje vode.

Bakterije i drugi biološki zagađivači (plesni, virusi, gljivice, grinje) mogu napredovati u sredinama sa relativnom vlažnošću većom od 60%.Neke bakterijske zajednice mogu rasti pri relativnoj vlažnosti većoj od 30%.Kompanija smatra da vlažnost treba kontrolisati u rasponu od 40% do 60%, što može smanjiti uticaj bakterija i respiratornih infekcija.

Relativna vlažnost u rasponu od 40% do 60% je također umjereni raspon za ljudski komfor.Previše vlage može uzrokovati da se ljudi osjećaju zagušljivo, dok vlažnost ispod 30% može uzrokovati osjećaj suhoće, ispucale kože, respiratorne nelagode i emocionalne nesreće.

Visoka vlažnost zapravo smanjuje nakupljanje elektrostatičkih naboja na površini čiste prostorije – željeni rezultat.Niska vlažnost je idealna za nakupljanje naboja i potencijalno štetni izvor elektrostatičkog pražnjenja.Kada relativna vlažnost pređe 50%, elektrostatička naelektrisanja počinju da se brzo raspršuju, ali kada je relativna vlažnost manja od 30%, mogu dugo trajati na izolatoru ili neuzemljenoj površini.

Relativna vlažnost između 35% i 40% može se koristiti kao zadovoljavajući kompromis, a poluprovodničke čiste sobe općenito koriste dodatne kontrole za ograničavanje akumulacije elektrostatičkih naboja.

Brzina mnogih hemijskih reakcija, uključujući procese korozije, će se povećati sa povećanjem relativne vlažnosti.Sve površine izložene zraku oko čiste prostorije su brze.