Ciljana vrijednost relativne vlažnosti u čistoj sobi za poluprovodnike (FAB)

Ciljana vrijednost relativne vlažnosti u čistoj sobi za poluprovodnike (FAB) je približno 30 do 50%, što omogućava usku marginu greške od ±1%, kao što je to slučaj u zoni litografije - ili čak i manje u zoni obrade dalekog ultraljubičastog zračenja (DUV) - dok se drugdje može smanjiti na ±5%.
Zato što relativna vlažnost ima niz faktora koji mogu smanjiti ukupne performanse čistih soba, uključujući:
1. Rast bakterija;
2. Raspon komfora sobne temperature za osoblje;
3. Pojavljuje se elektrostatički naboj;
4. Korozija metala;
5. Kondenzacija vodene pare;
6. Degradacija litografije;
7. Apsorpcija vode.

Bakterije i drugi biološki zagađivači (plijesni, virusi, gljivice, grinje) mogu napredovati u okruženjima s relativnom vlažnošću većom od 60%. Neke bakterijske zajednice mogu rasti pri relativnoj vlažnosti većoj od 30%. Kompanija smatra da vlažnost treba kontrolirati u rasponu od 40% do 60%, što može smanjiti utjecaj bakterija i respiratornih infekcija.

Relativna vlažnost u rasponu od 40% do 60% također je umjeren raspon za ljudsku udobnost. Previše vlage može uzrokovati osjećaj zagušljivosti, dok vlažnost ispod 30% može uzrokovati suhoću, ispucalu kožu, respiratorne tegobe i emocionalnu nesreću.

Visoka vlažnost zapravo smanjuje akumulaciju elektrostatičkih naboja na površini čiste sobe – što je željeni rezultat. Niska vlažnost je idealna za akumulaciju naboja i potencijalno štetan izvor elektrostatičkog pražnjenja. Kada relativna vlažnost pređe 50%, elektrostatički naboji počinju brzo da se raspršuju, ali kada je relativna vlažnost manja od 30%, mogu dugo trajati na izolatoru ili neuzemljenoj površini.

Relativna vlažnost između 35% i 40% može se koristiti kao zadovoljavajući kompromis, a čiste sobe za poluprovodnike uglavnom koriste dodatne kontrole kako bi se ograničilo nakupljanje elektrostatičkih naboja.

Brzina mnogih hemijskih reakcija, uključujući procese korozije, povećavat će se s povećanjem relativne vlažnosti. Sve površine izložene zraku oko čiste sobe su brze.