Šema sekundarnog povratnog zraka za sistem klimatizacije

Mikroelektronska radionica sa relativno malom površinom čiste prostorije i ograničenim radijusom povratnog vazdušnog kanala koristi se za usvajanje šeme sekundarnog povratnog vazduha sistema klimatizacije. Ova shema se također često koristi učiste sobeu drugim industrijama kao što su farmacija i medicinska njega. Budući da je ventilacijski volumen koji zadovoljava zahtjeve vlažnosti temperature čiste prostorije općenito daleko manji od volumena ventilacije koji je potreban za postizanje razine čistoće, stoga je temperaturna razlika između dovodnog i povratnog zraka mala. Ako se koristi shema primarnog povratnog zraka, temperaturna razlika između točke stanja dovodnog zraka i točke rose klima uređaja je velika, potrebno je sekundarno grijanje, što rezultira neutralizacijom hladne topline u procesu obrade zraka i većom potrošnjom energije . Ako se koristi shema sekundarnog povratnog zraka, sekundarni povratni zrak se može koristiti za zamjenu sekundarnog grijanja sheme primarnog povratnog zraka. Iako je podešavanje omjera primarnog i sekundarnog povratnog zraka nešto manje osjetljivo od podešavanja sekundarne topline, shema sekundarnog povratnog zraka je široko prepoznata kao mjera za uštedu energije za klimatizaciju u malim i srednjim mikro-elektronskim čistim radionicama. .

Uzmimo za primjer čistu radionicu mikroelektronike ISO klase 6, površina čiste radionice od 1 000 m2, visina plafona 3 m. Projektni parametri enterijera su temperatura tn= (23±1) ℃, relativna vlažnost φn=50%±5%; Projektna zapremina dovodnog vazduha je 171.000 m3/h, vreme razmene vazduha oko 57 h-1, a zapremina svežeg vazduha je 25.500 m3/h (od čega je zapremina procesnog odvodnog vazduha 21.000 m3/h, a ostatak je zapremina vazduha curenja pozitivnog pritiska). Osetno toplotno opterećenje u čistoj radionici je 258 kW (258 W/m2), odnos toplota/vlažnost klima uređaja je ε=35 000 kJ/kg, a temperaturna razlika povratnog vazduha prostorije je 4,5 ℃. U ovom trenutku, primarni povratni volumen zraka od
Ovo je trenutno najčešće korišćen oblik sistema za prečišćavanje klima uređaja u čistoj prostoriji mikroelektroničke industrije, ovaj tip sistema se uglavnom može podeliti na tri tipa: AHU+FFU; MAU+AHU+FFU; MAU+DC (suhi kalem) +FFU. Svaki ima svoje prednosti i nedostatke i pogodna mjesta, učinak uštede energije uglavnom ovisi o performansama filtera i ventilatora i druge opreme.

1) AHU+FFU sistem.

Ovaj tip sistemskog režima se koristi u mikroelektronskoj industriji kao „način odvajanja faze klimatizacije i prečišćavanja“. Mogu postojati dvije situacije: jedna je da se sistem klimatizacije bavi samo svježim zrakom, a tretirani svježi zrak nosi svu toplinu i opterećenje vlage čiste prostorije i djeluje kao dopunski zrak za balansiranje izduvnog zraka i propuštanja pozitivnog tlaka od čiste sobe, ovaj sistem se naziva i MAU+FFU sistem; Drugi je da količina svježeg zraka sama po sebi nije dovoljna da zadovolji potrebe za hladnim i toplinskim opterećenjem čiste prostorije, ili zato što se svježi zrak obrađuje iz vanjskog stanja do točke rosišta, specifična razlika entalpije potrebne mašine je prevelika. , a dio unutrašnjeg zraka (ekvivalent povratnog zraka) vraća se u jedinicu za obradu klima uređaja, pomiješa se sa svježim zrakom za toplinsku i vlažnu obradu, a zatim šalje u plenum za dovod zraka. Pomiješan s preostalim povratnim zrakom čiste prostorije (ekvivalent sekundarnom povratnom zraku), ulazi u FFU jedinicu i zatim ga šalje u čistu prostoriju. Od 1992. do 1994. drugi autor ovog rada je sarađivao sa singapurskom kompanijom i naveo više od 10 diplomiranih studenata da učestvuju u dizajnu američko-hongkonškog zajedničkog preduzeća SAE Electronics Factory, koji je usvojio potonju vrstu prečišćavanja klima uređaja i ventilacioni sistem. Projekat ima čistu sobu ISO klase 5 od približno 6.000 m2 (od čega je 1.500 m2 ugovoreno od strane Japanske agencije za atmosferu). Prostorija za klimatizaciju je raspoređena paralelno sa čistom stranom uz vanjski zid, a samo uz hodnik. Cevi za svež vazduh, odvodni i povratni vazduh su kratke i glatko raspoređene.

2) MAU+AHU+FFU šema.

Ovo rješenje se obično nalazi u mikroelektroničkim postrojenjima s višestrukim zahtjevima za temperaturom i vlažnošću i velikim razlikama u toplinskom i vlažnom opterećenju, a nivo čistoće je također visok. Ljeti se svježi zrak hladi i odvlažuje do fiksne tačke parametra. Obično je prikladno tretirati svježi zrak do točke presjeka izometrijske linije entalpije i linije relativne vlažnosti od 95% čiste prostorije sa reprezentativnom temperaturom i vlažnošću ili čiste prostorije s najvećom količinom svježeg zraka. Količina zraka MAU-a se određuje prema potrebama svake čiste prostorije za dopunu zraka, a distribuira se u AHU svake čiste prostorije cijevima prema potrebnoj količini svježeg zraka i miješa se s nekim unutrašnjim povratnim zrakom za toplinu i tretman vlage. Ova jedinica snosi sav teret toplote i vlage i dio novog opterećenja od reumatizma čiste prostorije koju služi. Vazduh koji tretira svaka AHU šalje se u plenum za dovodni vazduh u svakoj čistoj prostoriji, a nakon sekundarnog mešanja sa unutrašnjim povratnim vazduhom, šalje ga FFU jedinica u prostoriju.

Glavna prednost MAU+AHU+FFU rješenja je u tome što osim osiguravanja čistoće i pozitivnog tlaka, osigurava i različite temperature i relativnu vlažnost potrebne za proizvodnju svakog procesa čiste prostorije. Međutim, često zbog broja postavljenih klima uređaja, površina prostorije je velika, čista soba svježi zrak, povratni zrak, cjevovodi za dovod zraka ukršteni, zauzimaju veliki prostor, raspored je problematičan, održavanje i upravljanje je teže i složen, stoga, nema posebnih zahtjeva koliko je to moguće da bi se izbjegla upotreba.