
BSLtech poluprovodničko RJEŠENJE
Razvijanje vaše stručnosti u industriji poluprovodnika često zahtijeva čiste sobe ili laminarne kabinete s visokom ISO klasom (ISO 5 ili višom). Da li se bavite procesima osjetljivim na UV zračenje? Čak i tada BSL isporučuje pravu čistu sobu. Čiste sobe imaju visokokvalitetnu završnu obradu zidova i opremljene su osvjetljenjem s UV filterom. Upotrebom antistatičkih (ESD) materijala i antistatičkih šipki na sistemu filtera, statički naboj u zraku se neutralizira.
Kada otplinjavanje nije poželjno, BSL nudi čistu sobu od materijala koji ne ispuštaju gasove (PU). Ova tehnologija potiče iz vazduhoplovne industrije.
Tipični procesi u industriji poluprovodnika:
● Zaštita podloga i silicijumskih pločica
● Istraživanje EUV-a
● Poravnavači maski
● Vakuumsko nanošenje, nanošenje tankog filma
● Aplikacije za štampanje
● Optika
Front-end i back-end procesi