BSLtech Semiconductor SOLUTION
Razvijanje vaše stručnosti u industriji poluprovodnika često zahtijeva čiste sobe ili ormare s laminarnim protokom visoke ISO klase (ISO 5 ili više). Da li se bavite procesima osjetljivim na UV zračenje? Čak i tada BSL obezbjeđuje pravu čistu sobu. Čiste sobe imaju visokokvalitetnu završnu obradu zidova i imaju rasvjetu sa UV filterom. Korišćenjem antistatičkih (ESD) materijala i antistatičkih šipki na sistemu filtera, statički naboj u vazduhu se neutrališe.
Kada otplinjavanje nije poželjno, BSL nudi čistu sobu od materijala koji ne ispuštaju plin (PU). Ova tehnologija potječe iz zrakoplovne industrije.
Tipični procesi u industriji poluprovodnika:
● Zaštita podloga i silikonskih pločica
● EUV istraživanje
● Alajneri maski
● Vakumsko premazivanje, taloženje tankog filma
● Aplikacije za štampanje
● Optika
Front-end i back-end procesi